超高纯气体是指在空气含量上，氧气低于2.8%，氢气在30Pa以下。其主要应用于电子、光学与食品工业制作领域 ，尤其是半导体行业不可缺少的原料 。主要用于各种高精度和高可靠性的电子产品中作为生 产和高质量的产品 测试材料 , 以保证元器件的高可靠性及成品板卡的无缺陷率 ; 的光电器件 、印刷电路版生产工艺中使用; 在激光技术中也用作光敏三极管的曝光剂等；还可用于超深海潜水器的研究, 因为这些设备需要在高压下工作且不会发生减压病危险 ；同时它也广泛应用于航天工程人造对地观测系统中作关键性特种用途如： 用 于红外/紫外探测管外腔中的保护气氛等方面 .
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